• Buena relación calidad/precio, disponibilidad amplia, poca fatiga…

• Complemento usos para los que el silicio no es tan buen fit.

• e.g., película fotosensible para imprimir circuitos.

• “Review of polymer MEMS micromachining”

• Maleables, buenos conductores…

• Buena resistencia contra la corrosión biológica

Deposición

• Deposición de una película delgada de un material encima del sustrato.
• Física:
  • Evaporación (térmica o e-beam).
  • Pulverización catódica (sputtering).
• Química:
  • Evaporación química.
  • Oxidación térmica.

Litografía

• Fotolitografía (exposición a la luz de un material fotosensible).
• Litografía e-beam (un haz de electrones sobre una lámina cubierta de polímero), ion-beam (mejor resolución), rayos X.

Grabado

• Húmedo (reacción química con un ácido).
• En seco (plasma, reacción a base de presión y calor).